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股票什么是杠杆 光刻机外最难!东方晶源:国产电子束量测检测核心突破
发布日期:2024-10-15 00:38    点击次数:158

股票什么是杠杆 光刻机外最难!东方晶源:国产电子束量测检测核心突破

5月17日板块涨跌幅前10股票什么是杠杆

涨停家数方面,今日合计有96股涨停,上个交易日63股涨停。

北京经信局日前就《北京市促进低空经济产业高质量发展行动方案(2024-2027年)(征求意见稿)》公开征求意见,到2027年,培育10亿元级龙头企业10家,过亿元产业链核心环节配套企业50家、技术服务企业100家。此外,南京低空经济发展大会上,《南京市促进低空经济高质量发展实施方案(2024—2026年)》、《南京市关于支持低空经济高质量发展的若干措施(试行)》正式发布,《实施方案》提及,到2026年,南京市全市低空经济产业规模发展超500亿元,低空经济领域高新技术企业达120家以上。国金证券表示,当前低空经济已进入应用推广试点期,即将进入产业链快速发展期;东吴证券指出,低空经济已成为关键的经济增长点,应用场景试点将在各省市积极推进中逐步落地;东北证券认为,低空经济未来将继续保持增长态势,“通感一体”将作为关键基建率先落地。

当前低空经济已进入应用推广试点期,即将进入产业链快速发展期。低空经济发展同新能源车行业起步发展一样依赖政策的大力支持,但其各环节受益节奏及程度或与新能源车不同。第一,整机环节集中度更高、话语权更高、拥有更高毛利率;销售以toB为主,受益时间更早、周期更长;第二,基础设施更复杂,随时间推移,技术方案将逐步形成,各环节有望逐步受益;第三,低空商业运营具有更高经济性与收益表现;第四,零部件和材料有望借助低空切入航空应用领域提升产品结构。当前核心关注基础设施、整机及运营,以及切入航空领域的零部件厂商。

电子束检测设备,这是国内除了光刻机以外最大的短板。

电子束量测检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一,深度参与光刻环节、对制程节点敏感并且对最终产线良率起到至关重要的作用。其最为核心的模块为电子光学系统(Electron Optical System,简称EOS),决定设备的成像精度和质量,进而决定设备的性能。

作为电子束量测检测领域的先行者、领跑者,东方晶源始终坚持自主研发,不断深化研发投入、加速技术创新步伐,致力于为客户带来更加卓越的产品。日前,东方晶源自主研发的新一代EOS“三箭齐发”,取得突破性成果,成功搭载到旗下电子束缺陷复检设备(DR-SEM)、关键尺寸量测设备(CD-SEM)、电子束缺陷检测设备(EBI),率先实现国产EOS在高端量测检测领域的应用,助力产品性能实现进一步攀升的同时,为国产电子束量测检测技术的发展进一步夯实了基础。

新一代DR-SEM EOS 多场景 高精度

DR-SEM是一款基于超高分辨率电子束成像技术对缺陷进行复检分析的设备,包括形貌分析、成分分析等,因此其搭载的EOS需要高分辨、高速的自动化复检能力,并提供多样化的信号表征手段。

东方晶源新一代DR-SEM EOS采用适配自研多通道高速探测器、支持多信号类型分析检测的电子光学设计方案,兼容EDX成分分析功能,能够覆盖广泛的缺陷复检应用场景。此外,新一代DR-SEM EOS搭配高精度定位技术,检测精度和速度可以匹配业界主流水准。

新一代CD-SEM EOS高精度 高速度

CD-SEM作为产线量测的基准设备,对EOS的核心技术需求在于高分辨、高产能(Throughput)和高稳定性。东方晶源新一代CD-SEM EOS为实现高成像分辨率和高量测精度,采用球色差优化的物镜、像差补偿技术、自动校正技术等新方案,目前已达到业界一流水平。同时,自研探测器针对频响和信噪比优化,支持快速图像采集,结合高速AFC技术,可以在不损失精度的情况下大幅提升量测产能。新的技术方案确保了更稳定、一致的产品表现。通过上述各方面的技术突破,新一代CD-SEM EOS在性能和稳定性上取得大幅提升。

新一代EBI EOS多场景 高速度

针对国内领先的逻辑与存储客户产线检测需求,EBI EOS要在保证检测精度的前提下,重点提升检测速度。东方晶源最新研发的EBI EOS通过四大技术手段在检测精度和速度上进行了显著的优化与提升。(1)超大束流的电子束预扫描技术和大范围电子产率调节技术,满足不同产品多样化检测需求;(2)兼容步进式和连续式扫描模式,提供具有竞争力的产能指标;(3)采用业界领先的高速大束流检测方案,采样速率达到行业先进水平;(4)浸没式电子枪,支持更大的束流调节范围。

展 望

随着半导体工艺水平的飞速发展,电子束在线量测检测越来越重要,设备的产能必须有质的飞跃才能满足这一需求。更高的成像速率或多电子束并行检测技术就是业界竞相攻克的焦点。东方晶源在高速成像和多电子束技术均已取得重要突破,实现了相关技术的原理验证。未来,东方晶源将不断进行技术深耕,将关键核心技术牢牢掌握在自己手中股票什么是杠杆,以更加卓越的技术和产品引领电子束量测检测领域的发展,解决客户痛点问题,为我国集成电路产业的发展和进步贡献更多力量。



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